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清华大学材料学院
1台
G—25X型高精密光刻机
北京大学化学院
上海复旦大学微电子学系
G—33型高精密双面光刻机
福州大学
2台
吉林大学化学系
四川大学材料学院
贵州大学
G—25型高精密光刻机
华南师范大学
湛江师范大学
G—17A型高精密光刻机
重庆师范大学
G—31型高精密双面光刻机
安徽合肥科技大学
G—17型高精密光刻机
北京化工大学
武汉大学
华中科技大学
辽宁工程技术大学
河北工业大学
广州暨南大学
广西民族大学
湘潭大学
G—31B型高精密双面光刻机
中山大学
G-25X型高精密光刻机
温州医科大学
曲靖师范大学
天水天光半导体有限责任公司
苏州一光仪器有限公司
G—43A型高精密光刻机
山东济宁正和电子有限责任公司
G—43型高精密光刻机
四川永星电子有限公司(893厂)
中核建中核燃料元件有限公司
辽宁阜新晶体管厂
中国航天科技集团公司川南机械厂
深圳新飞通光电技术有限公司
安徽佳盛科学仪器有限公司
长沙韶普铬版有限公司
长沙韶光铬版有限公司
深圳市鹏宇光电有限公司
3台
深圳市路维电子有限公司
G—43B型高精密光刻机
大恒新纪元科技股份有限公司
G—25XA型高精密光刻机
北京金达雷科技有限公司
南京百花光电有限公司
江苏森尼克电子科技有限公司
西陇科学股份有限公司
广州暨华电子科技有限公司
济南力冠电子科技有限公司
G-31B型高精密双面光刻机
北京中航兴盛测控技术有限公司
云南领创仪器设备有限公司
G-33型高精密双面光刻机
温州英朗科学器材有限公司
广州市兰田电子科技有限公司
上海空间电源研究所
中国电子科技集团公司第四十一研究所
中国电子科技集团公司第四十四研究所
中科院西南技术物理研究所
中国科学院物理研究所
航天科工集团二院第25研究所
中国科学院长春光学精密机械研究所
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航天材料及工艺研究所
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